利用等離子體的光、聲、電荷信號對激光焊接過程進行檢測，近年來已成為國內外研究的熱點，少數研究成果已達到了閉環控制的程度。激光焊接質量檢測和控制系統所用傳感器及其功能簡單介紹如下：

　   （1）等離子體監測傳感器

　　 1）等離子體光學傳感器（PS）：它的作用是采集等離子體的特征光一紫外光信號。

　 　2）等離子體電荷傳感器（PCS）：利用噴嘴做探針檢測由于等離子體帶電粒子（正離子、電子）的不均勻擴散而在噴嘴和工件之間形成的電位差。

　　（2）系統功能

　　 1）識別激光焊接過程屬于何種方式。穩定深熔焊過程，有等離子體，PS、PCS信號均很強；穩定熱導焊過程，不產生等離子體，PS、PCS信號幾乎等于零；模式不穩定焊過程，等離子體間斷性地產生和消失，相應地PS、PCS信號間斷性地上升和下降。

　 　2）診斷傳輸到焊接區的激光功率是否正常、當其他參數一定時，PS和PCS信號的強弱與入射到焊接區的功率大小有對應關系。因此，監視PS和PCS信號就可以知道導光系統是否正常，焊接區的功率是否發生了波動。

　　 3）噴嘴高度自動跟蹤。PCS信號隨噴嘴-工件距離的增加而減小。利用這一規律進行閉環控制可以保證噴嘴-工件距離不變，實現高度方向的自動跟蹤。

　 　4）焦點位置自動尋優和閉環控制。在深熔焊范圍內，光束焦點位置發生波動時，PS接收到的等離子體光信號亦隨之變化，以最佳焦點位置處（此時小孔最深）PS信號最小。依據所發現的這個規律，可以實現焦點位置自動尋優與閉環控制，使焦點位置波動小于0.2mm，熔深波動小于0.05mm。